Luận án Tiến sĩ: Chế tạo & biến tính màng WO3, Chitosan-Graphen cho cảm biến
Luận án chế tạo, biến tính màng WO3 và chitosan oxit graphen. Hướng ứng dụng vật liệu này phát triển cảm biến hiệu quả.
Năm xuất bản
Số trang
130
Thời gian đọc
20 phút
Lượt xem
0
Lượt tải
0
Phí lưu trữ
40 Point
Tổng quan nhanh
- Chủ đề:
- Chế tạo Màng mỏng WO3 & Chitosan-Graphen cho Cảm biến
- Số trang:
- 130 trang
- Trường:
- Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, Đại học Quốc gia Thành phố Hồ Chí Minh
- Chuyên ngành:
- Khoa học Vật liệu
- Tác giả:
- Tạ Thị Kiều Hạnh
- Năm:
- 2023
Tóm tắt nội dung luận án
I.Chế tạo Màng mỏng WO3 Chitosan Graphen cho Cảm biến
Nghiên cứu tập trung vào việc chế tạo và biến tính vật liệu cảm biến tiên tiến. Luận án khám phá tiềm năng của màng mỏng WO3 và vật liệu lai Chitosan-Graphen. Mục tiêu là phát triển các cảm biến hiệu suất cao, định hướng ứng dụng trong nhiều lĩnh vực. Công trình này đóng góp vào sự phát triển của công nghệ nano và vật liệu cảm biến thế hệ mới. Việc kết hợp các vật liệu này mở ra hướng đi mới trong việc nâng cao độ nhạy và độ chọn lọc của cảm biến.
1.1. Mục tiêu Nghiên cứu và Phạm vi Luận án
Luận án đặt ra mục tiêu chế tạo thành công màng mỏng WO3 và vật liệu lai Chitosan-Oxit Graphen. Mục tiêu tiếp theo là biến tính bề mặt các vật liệu này nhằm tối ưu hóa tính năng cảm biến. Phạm vi nghiên cứu bao gồm việc tổng hợp, đặc trưng hóa cấu trúc, tính chất vật lý và hóa học. Đánh giá khả năng cảm biến của các vật liệu này cũng được thực hiện.
1.2. Tổng quan về Vật liệu Cảm biến Nano
Vật liệu nano đóng vai trò quan trọng trong công nghệ cảm biến hiện đại. Các vật liệu này mang lại diện tích bề mặt lớn và khả năng phản ứng vượt trội. WO3 và Chitosan-Graphen là hai loại vật liệu hứa hẹn. Chúng có khả năng phát hiện các chất khí và sinh học với độ nhạy cao. Sự phát triển vật liệu cảm biến nano góp phần giải quyết nhiều vấn đề môi trường và y tế.
1.3. Phương pháp tiếp cận Chế tạo Màng Mỏng
Việc chế tạo màng mỏng WO3 sử dụng các kỹ thuật lắng đọng tiên tiến. Các phương pháp này đảm bảo chất lượng và độ đồng đều của màng. Đối với Chitosan-Graphen, quá trình tổng hợp kết hợp các đặc tính của polymer sinh học và oxit graphen. Các bước biến tính bề mặt được thực hiện cẩn thận. Mục đích là cải thiện tương tác giữa vật liệu và chất phân tích.
II.Màng mỏng WO3 Chế tạo và Đặc trưng Cảm biến
Màng mỏng WO3 là vật liệu bán dẫn oxit kim loại chuyển tiếp có nhiều ứng dụng. Đặc biệt, WO3 cho thấy tiềm năng lớn trong cảm biến khí. Nghiên cứu này tập trung vào các phương pháp chế tạo màng mỏng WO3. Việc kiểm soát cấu trúc và hình thái màng là yếu tố then chốt. Đặc trưng cảm biến của WO3 được đánh giá chi tiết. Điều này bao gồm độ nhạy, độ chọn lọc và thời gian phản hồi.
2.1. Đặc tính Cơ bản của Tungsten Trioxide WO3
WO3 là một vật liệu bán dẫn loại n. Vật liệu này thể hiện khả năng thay đổi điện trở khi tiếp xúc với các loại khí nhất định. Cấu trúc tinh thể và các khuyết tật bề mặt ảnh hưởng lớn đến đặc tính cảm biến. WO3 ổn định về mặt hóa học và có chi phí sản xuất hợp lý. Các đặc tính này làm cho WO3 trở thành lựa chọn ưu việt cho cảm biến khí.
2.2. Kỹ thuật Chế tạo Màng mỏng WO3
Nhiều kỹ thuật được áp dụng để chế tạo màng mỏng WO3. Các phương pháp phổ biến bao gồm lắng đọng phún xạ (sputtering), sol-gel và lắng đọng hóa học từ pha hơi (CVD). Việc lựa chọn kỹ thuật chế tạo ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng màng. Kiểm soát các thông số quá trình là cần thiết để đạt được cấu trúc mong muốn. Điều này tối ưu hóa hiệu suất cảm biến.
2.3. Đánh giá Khả năng Cảm biến Khí của WO3
Khả năng cảm biến khí của màng mỏng WO3 được đánh giá qua nhiều thông số. Bao gồm độ nhạy với các loại khí độc hại như NO2, H2S. Độ chọn lọc đối với từng loại khí là yếu tố quan trọng. Thời gian phản hồi và thời gian phục hồi cũng được đo lường. Các phép đo này giúp xác định hiệu suất thực tế của cảm biến WO3 trong các môi trường khác nhau.
III.Vật liệu Chitosan Graphen Biến tính và Khả năng Cảm biến
Vật liệu lai Chitosan-Graphen đại diện cho một hướng đi đầy hứa hẹn. Sự kết hợp giữa Chitosan sinh học và Graphen có khả năng dẫn điện cao. Vật liệu này có thể tạo ra cảm biến sinh học và hóa học hiệu quả. Nghiên cứu này khám phá các phương pháp biến tính bề mặt để tối ưu hóa đặc tính. Mục tiêu là tăng cường tương tác với các phân tử sinh học hoặc hóa chất. Điều này dẫn đến sự cải thiện đáng kể về độ nhạy và độ ổn định của cảm biến.
3.1. Tổng quan về Chitosan và Graphene Oxide
Chitosan là một polymer sinh học tự nhiên, có tính tương thích sinh học cao. Chitosan không độc hại và có thể phân hủy sinh học. Graphene oxide (GO) là một dẫn xuất của Graphen. GO sở hữu diện tích bề mặt lớn và nhiều nhóm chức hóa học. Sự kết hợp hai vật liệu này tạo ra vật liệu lai với những đặc tính độc đáo. Chúng tiềm năng cho nhiều ứng dụng công nghệ, đặc biệt là cảm biến.
3.2. Chế tạo và Biến tính Vật liệu Chitosan Graphen
Quá trình chế tạo Chitosan-Graphen liên quan đến việc phân tán GO vào dung dịch Chitosan. Sau đó, quá trình biến tính bề mặt được thực hiện để cải thiện tính chất. Các phương pháp biến tính có thể bao gồm xử lý hóa học hoặc vật lý. Điều này nhằm tăng cường khả năng bám dính, độ dẫn điện và khả năng nhận biết chất phân tích. Mục tiêu là tối ưu hóa cấu trúc nano của vật liệu lai.
3.3. Tiềm năng Ứng dụng trong Cảm biến Sinh học
Vật liệu Chitosan-Graphen có tiềm năng lớn trong cảm biến sinh học. Khả năng tương thích sinh học của Chitosan cho phép cảm biến tương tác tốt với môi trường sinh học. Tính dẫn điện của Graphen giúp chuyển đổi tín hiệu hiệu quả. Ứng dụng bao gồm phát hiện glucose, DNA, protein và các chất phân tích sinh học khác. Cảm biến sinh học dựa trên Chitosan-Graphen mở ra nhiều cơ hội trong y tế và môi trường.
IV.Cơ chế Cảm biến và Ứng dụng Tiềm năng của Vật liệu Lai
Hiểu rõ cơ chế cảm biến là yếu tố then chốt để phát triển các thiết bị hiệu quả. Phần này tập trung vào các nguyên lý hoạt động của cảm biến dựa trên màng mỏng WO3 và Chitosan-Graphen. Các yếu tố ảnh hưởng đến hiệu suất cảm biến được phân tích. Điều này bao gồm độ nhạy, độ chọn lọc, độ ổn định và thời gian phản hồi. Vật liệu lai thể hiện khả năng ứng dụng đa dạng, từ giám sát môi trường đến y tế. Việc tối ưu hóa cơ chế phản ứng là rất quan trọng.
4.1. Nguyên lý Hoạt động của Cảm biến Vật liệu Nano
Cảm biến vật liệu nano hoạt động dựa trên sự thay đổi tính chất vật lý hoặc hóa học. Sự tương tác giữa vật liệu cảm biến và chất phân tích gây ra sự thay đổi này. Đối với WO3, đó là sự thay đổi điện trở do hấp phụ/khử hấp phụ khí. Đối với Chitosan-Graphen, có thể là sự thay đổi điện hóa hoặc quang học. Việc hiểu rõ các phản ứng ở cấp độ nano là cần thiết.
4.2. Hiệu suất Cảm biến Độ nhạy và Độ chọn lọc
Độ nhạy của cảm biến là khả năng phát hiện nồng độ thấp của chất phân tích. Độ chọn lọc là khả năng phân biệt một chất phân tích cụ thể giữa nhiều chất khác. Cả hai yếu tố này đều rất quan trọng đối với một cảm biến thực tế. Việc tối ưu hóa cấu trúc vật liệu và điều kiện hoạt động có thể cải thiện đáng kể hiệu suất này. Vật liệu lai thường cho phép đạt được độ nhạy và độ chọn lọc cao hơn.
4.3. Ứng dụng Đa dạng trong Thực tiễn
Các vật liệu cảm biến này có tiềm năng ứng dụng rộng rãi. Cảm biến khí dựa trên WO3 có thể dùng để giám sát chất lượng không khí. Cảm biến sinh học Chitosan-Graphen có thể dùng trong chẩn đoán y tế sớm. Ứng dụng khác bao gồm giám sát độ ẩm, phát hiện VOCs (hợp chất hữu cơ dễ bay hơi) và cảm biến hóa học trong công nghiệp. Công nghệ này hứa hẹn cải thiện chất lượng cuộc sống và an toàn.
V.Tổng hợp Kết quả và Triển vọng Ứng dụng Cảm biến Nano
Luận án đã đạt được nhiều kết quả quan trọng trong việc chế tạo và đặc trưng hóa vật liệu cảm biến. Các màng mỏng WO3 và vật liệu lai Chitosan-Graphen thể hiện tiềm năng vượt trội. Các kết quả này mở ra hướng đi mới cho công nghệ cảm biến. Tuy nhiên, vẫn còn những thách thức cần được giải quyết. Triển vọng ứng dụng trong tương lai là rất lớn. Công trình này đóng góp vào sự phát triển bền vững của khoa học vật liệu và công nghệ nano.
5.1. Tóm tắt Các Kết quả Nghiên cứu Chính
Nghiên cứu đã thành công trong việc chế tạo màng mỏng WO3 với cấu trúc tối ưu. Các màng này cho thấy độ nhạy cao với một số loại khí. Vật liệu lai Chitosan-Graphen cũng được tổng hợp và biến tính. Vật liệu lai thể hiện khả năng cảm biến sinh học và hóa học đầy hứa hẹn. Các đặc tính vật lý, hóa học và cảm biến của vật liệu đã được đặc trưng hóa chi tiết.
5.2. Hướng phát triển và Thách thức trong Công nghệ Cảm biến
Hướng phát triển tương lai bao gồm việc tích hợp các cảm biến này vào hệ thống nhỏ gọn. Tăng cường độ ổn định lâu dài và khả năng tái sử dụng là mục tiêu. Thách thức lớn nhất là giảm chi phí sản xuất và mở rộng quy mô. Ngoài ra, việc phát triển các cảm biến đa chức năng cũng là một trọng tâm. Cần cải thiện hơn nữa độ chọn lọc trong môi trường phức tạp.
5.3. Ý nghĩa Khoa học và Thực tiễn của Luận án
Luận án cung cấp cái nhìn sâu sắc về khoa học vật liệu và công nghệ cảm biến. Các phát hiện đóng góp vào cơ sở tri thức về chế tạo vật liệu nano tiên tiến. Về mặt thực tiễn, công trình này đặt nền tảng cho việc phát triển cảm biến thế hệ mới. Các cảm biến này có thể ứng dụng trong giám sát môi trường, y tế và an toàn công nghiệp. Ý nghĩa của nghiên cứu là rất lớn.
Mục lục chi tiết luận án
Tải xuống file đầy đủ để xem toàn bộ nội dung
Tải đầy đủ (130 trang)Nội dung chính
Tổng quan về luận án
Sự phát triển vượt bậc của khoa học vật liệu và công nghệ nano trong ba thập kỷ qua đã mở ra những bước đột phá mang tính chuyển cách mạng cho các thế hệ cảm biến y sinh, hóa học và môi trường. Tuy nhiên, các cấu trúc cảm biến kinh điển như cảm biến sinh học điện hóa (electrochemical biosensors), cảm biến transistor hiệu ứng trường (field-effect transistor - FET) và cảm biến cộng hưởng trên cơ sở thanh nano dao động (nano-cantilever biosensors) đang dần chạm tới các giới hạn vật lý và công nghệ khi tiến hành thu nhỏ kích thước vi mạch tích hợp. Cảm biến điện hóa bắt buộc phải vận hành trong môi trường dung dịch và chịu ảnh hưởng lớn bởi nhiễu nền [43, 45-47]; cảm biến FET đòi hỏi hệ thống đo dòng điện cực nhạy ở quy mô nanoampe (nA) [48, 49]; trong khi cảm biến thanh nano dao động đòi hỏi thiết bị phân tích quang học hoặc giao thoa điện dung cực kỳ đắt tiền và tinh vi để ghi nhận biến thiên tần số dao động riêng [40-42].
Nhằm giải quyết triệt để rào cản trên, thế hệ cảm biến trở nhớ (memristive biosensors) dựa trên cấu trúc tụ điện kim loại - điện môi - kim loại (Metal-Insulator-Metal - MIM) thuộc bộ nhớ truy cập ngẫu nhiên đảo điện trở (Resistive Random Access Memory - ReRAM) đã ra đời [9-24]. Khác với cơ chế đo dòng truyền thống, cảm biến trở nhớ sử dụng sự dịch chuyển điện thế ($\Delta V$) tại điểm dòng cực tiểu làm tín hiệu nhận biết trực tiếp trong môi trường khô, đạt độ phân giải siêu nhạy ở thang nồng độ femtomolar (fM) [14, 52]. Tuy nhiên, khoảng trống nghiên cứu cốt lõi (research gap) hiện nay nằm ở việc thiếu vắng một quy trình đồng bộ từ khâu chế tạo màng mỏng chuyển mạch trở nhớ, giải mã chính xác vi cơ chế truyền dẫn điện tích lượng tử, cho đến việc chức năng hóa hóa học bề mặt để cố định chọn lọc các đầu dò sinh học mà không phá hủy cấu trúc điện học của màng.
Luận án tiến sĩ ngành Khoa học Vật liệu của NCS. Tạ Thị Kiều Hạnh (2023) với đề tài "Chế tạo và biến tính bề mặt màng mỏng $WO_3$ và chitosan:oxit graphen định hướng ứng dụng trong cảm biến" dưới sự hướng dẫn của GS. Phan Bách Thắng và TS. Nguyễn Thị Liên Thương đã giải quyết toàn diện khoảng trống khoa học này thông qua ba câu hỏi nghiên cứu và giả thuyết tương ứng:
- Câu hỏi nghiên cứu 1 (RQ1): Làm thế nào để chế tạo màng mỏng vô cơ $WO_3$ và màng lai hóa hữu cơ - vô cơ chitosan:oxit graphen (CS:GO) có khả năng đảo điện trở thuận nghịch lưỡng cực ổn định? Giả thuyết 1 (H1): Sự điều biến nút khuyết oxy trong mạng tinh thể $WO_3$ và mạng lưới phân tán $sp^2/sp^3$ của GO trong nền polymer chitosan sẽ tạo ra các bẫy điện tích cục bộ, hình thành chuyển mạch điện trở lưỡng cực bền vững.
- Câu hỏi nghiên cứu 2 (RQ2): Bản chất vi mô của cơ chế truyền dẫn điện tích và quá trình hình thành/đứt gãy đường dẫn dẫn điện trong cấu trúc màng là gì khi tương tác với các loại điện cực khác nhau? Giả thuyết 2 (H2): Sự lựa chọn điện cực hoạt tính (Ag), điện cực trơ (Pt, Ti) và điện cực oxit dẫn (FTO) sẽ quyết định cơ chế dẫn qua sự dịch chuyển ion $O^{2-}$ hoặc sợi dẫn kim loại hóa trị Ag thông qua các mô hình điện tích không gian và xuyên ngầm lượng tử.
- Câu hỏi nghiên cứu 3 (RQ3): Làm thế nào để chức năng hóa bề mặt màng $WO_3$ và CS:GO bằng các nhóm chức hoạt tính ($-NH_2$, $-COOH$) nhằm gắn kết hiệu quả các phân tử dò sinh học mục tiêu? Giả thuyết 3 (H3): Việc kết hợp tiền xử lý plasma oxy với silan hóa bằng APTES và carboxyl hóa bằng succinic anhydride (SA) sẽ tạo liên kết cộng hóa trị bền vững, nâng cao mật độ cố định đoạn mồi oligonucleotide ($NH_2$-Oligo C6-sybr green I) và chất huỳnh quang fluorescein isothiocyanate (FITC).
Về mặt phạm vi, nghiên cứu khảo sát các màng mỏng được tối ưu hóa chế tạo trên nền đế FTO/Pt với quy trình đo đạc quét thế bán logarit từ -3 V đến +3 V, phân tích độ bền lưu trữ qua 100 chu kỳ I-V liên tục, và đánh giá phổ huỳnh quang quang học ở quy mô phòng thí nghiệm chuẩn quốc tế.
Literature Review và Positioning
Nghiên cứu về vật liệu và linh kiện trở nhớ trên thế giới đã trải qua nhiều giai đoạn phát triển với sự đối thoại học thuật sâu sắc giữa các trường phái lý thuyết. Khởi đầu từ các vật liệu perovskite như $SrTiO_3$ pha tạp Cr và $Pr_{0.7}Ca_{0.3}MnO_3$ (PCMO), Beck [25] cùng Szot [26] và Thắng [27-29] đã làm sáng tỏ vai trò của nút khuyết oxy và quá trình trao đổi điện tích giữa các trạng thái oxy hóa khác nhau ($Cr^{3+}/Cr^{4+}$). Hai luồng quan điểm đối lập đã xuất hiện trong việc giải thích hiện tượng đảo điện trở:
- Trường phái tiếp xúc mặt phân giới (Interface-type Switching): Baikalov [55], Tsui [56], Odagawa [58] và Sawa [57] cho rằng sự đảo điện trở xuất phát hoàn toàn từ sự biến đổi rào thế Schottky hoặc lớp điện tích không gian tại mặt tiếp xúc kim loại/oxit thông qua quá trình bẫy/giải bẫy điện tử.
- Trường phái sợi dẫn cục bộ (Filamentary-type Switching): Ngược lại, Janousch [54], Papagianni [59] và Duhalde [60] chứng minh sự đảo điện trở bị chi phối bởi sự hình thành và đứt gãy của các vi đường dẫn (filaments) tạo bởi các ion khuyết oxy hoặc cation kim loại phân tán xuyên suốt khối vật liệu.
Đối với oxit kim loại chuyển tiếp hai thành phần, Seo và cộng sự [31, 32] trên cấu trúc Pt/NiO/Pt, cùng Lee và cộng sự [33] trên cấu trúc $Au/WO_{3-x}/W$ đế dẻo (thế chuyển -0,5 V trong dải quét $\pm 1$ V) đã củng cố mô hình chuyển mạch sợi dẫn. Trong phân nhánh vật liệu hữu cơ và lai hóa, Romero [35] ghi nhận màng rGO đảo điện trở ở thế 2,2 V - 2,5 V; Pradhan [36] khảo sát cấu trúc Al/rGO/Al và Cr/rGO/Cr cho thấy thế chuyển trạng thái ở -0,68 V và -0,62 V; trong khi Raeis-Hosseini và Rho (2021) [37] chế tạo thành công bioReRAM màng lọc nano Ag/Au-CS/Au chuyển trạng thái tại ~2,5 V trên dải quét $\pm 3$ V.
TIẾN TRÌNH NGHIÊN CỨU VẬT LIỆU TRỞ NHỚ VÀ ĐỊNH VỊ LUẬN ÁN:
Perovskite & Oxit đơn (NiO, SrTiO3) ──► Vật liệu Nano Carbon & Polymer (rGO, Au-CS) ──► Màng mỏng WO3 & CS:GO Chức Năng Hóa
[Beck, Szot, Seo (2014)] [Romero, Pradhan, Raeis-Hosseini (2021)] [Tạ Thị Kiều Hạnh (2023) - Luận án]
(Cơ chế: SCLC / Rào Schottky) (Cơ chế: Sợi dẫn Ag / VRH hữu cơ) (Cơ chế: SCLC-BC-OC-FN + Bio-functionalization)
Khi so sánh với nghiên cứu cảm biến sinh học trở nhớ kinh điển trên dây nano Si của Carrara và cộng sự (2012) [14] (độ nhạy $37 \pm 1$ mV/fM, LOD $3,4 \pm 1,8$ fM) và cảm biến $TiO_2-GO$ phát hiện BSA của Sahu & Jammalamadaka (2019) [17] (độ nhạy 4 mg/mL), công trình của Tạ Thị Kiều Hạnh đã định vị xuất sắc vị thế học thuật bằng việc thiết lập cầu nối giữa khoa học màng mỏng vô cơ ($WO_3$) và vật liệu tương thích sinh học polymer nanocomposite (CS:GO), vừa làm chủ cơ chế dẫn điện đa vùng vừa làm chủ kỹ thuật gắn kết đầu dò sinh học qua các liên kết hóa học bền vững.
Đóng góp lý thuyết và khung phân tích
Đóng góp cho lý thuyết
Luận án đã mở rộng và hoàn thiện hệ thống lý thuyết về truyền dẫn điện tích phi tuyến trong màng mỏng điện môi thông qua việc kết hợp và kiểm chứng thực nghiệm các mô hình vật lý chất rắn:
- Lý thuyết dẫn giới hạn điện tích không gian (SCLC - Space-Charge-Limited Conduction): Chứng minh sự chuyển tiếp từ dòng Ohmic ($I \propto V$) ở điện trường thấp sang dòng SCLC ($I \propto V^2$) tại vùng bẫy nông và bẫy sâu khi tiêm hạt tải từ điện cực đáy/đỉnh.
- Lý thuyết dẫn đạn đạo (Ballistic Conduction - BC) và Dẫn Ohmic (OC): Xác lập phương trình dòng dẫn khi các sợi nano dẫn điện kim loại (Ag filaments) hình thành hoàn chỉnh nối liền hai điện cực ở trạng thái điện trở thấp (LRS).
- Lý thuyết xuyên ngầm Fowler-Nordheim (FN Tunneling) và Phát xạ Schottky (SC): Luận giải cơ chế vượt rào thế năng lượng của điện tử tại mặt phân giới tiếp xúc dị thể dưới tác động của điện trường cao khi quét thế dương/âm.
- Mô hình dịch chuyển ion oxy ($O^{2-}$ Vacancy Migration): Thiết lập cơ chế đảo điện trở ngược chiều kim đồng hồ trong cấu trúc $Ti/WO_3/FTO$, trong đó các ion âm $O^{2-}$ di chuyển qua lại mặt phân giới đáy $WO_3/FTO$, thay đổi độ dày vùng nghèo điện tích.
Khung phân tích độc đáo
Khung phân tích của luận án tích hợp ba trụ cột: Khoa học vật liệu màng mỏng, Vật lý linh kiện bán dẫn và Hóa học biến tính bề mặt.
| Trụ cột phân tích | Thành phần lý thuyết & Thực nghiệm | Cơ chế tác động cốt lõi | Điều kiện biên (Boundary Conditions) |
|---|---|---|---|
| Vật liệu vô cơ ($WO_3$) | Cấu trúc bát diện $[WO_6]$ chia sẻ đỉnh/cạnh; Phún xạ RF Magnetron | Nút khuyết oxy và sự oxy hóa khử cation $Ag \leftrightarrow Ag^+ + e^-$ | Giới hạn quét thế: $-1,5\text{ V} \le V \le +2,0\text{ V}$; Nhiệt độ phòng |
| Vật liệu lai ($CS:GO$) | Ma trận Chitosan (DD $>50%$) đan xen phiến Oxit Graphen ($sp^2/sp^3$) | Bẫy điện tử trên nhóm chức chứa oxy; Bán kính ion và độ dẫn ion polymer | Phương pháp phủ quay (Spin-coating); Môi trường đo khô |
| Hóa bề mặt (APTES & SA) | Silan hóa nhóm $-OH$; Mở vòng anhydride tạo nhóm $-COOH$ | Liên kết cộng hóa trị bền vững $Si-O-M$ và liên kết amide $-CONH-$ | Xử lý hoạt hóa bề mặt bằng plasma $O_2$ trước khi chức năng hóa |
Phương pháp nghiên cứu tiên tiến
Thiết kế nghiên cứu
Nghiên cứu tuân thủ chặt chẽ thế giới quan thực chứng (positivism) với phương pháp tiếp cận thực nghiệm đối chứng, phân tích định lượng dựa trên các kỹ thuật đặc trưng cấu trúc - điện học - quang học tiên tiến. Thiết kế đa tầng (multi-level design) bao gồm:
- Tầng 1 - Chế tạo màng nền: Lắng đọng màng mỏng vô cơ $WO_3$ bằng hệ phún xạ magnetron tần số radio (RF sputtering) và chế tạo màng nanocomposite CS:GO bằng phương pháp phủ quay (spin-coating) từ dung dịch keo đồng thể.
- Tầng 2 - Khảo sát vi cấu trúc và hình thái: Đánh giá cấu trúc tinh thể, trạng thái hóa trị và liên kết hóa học.
- Tầng 3 - Tích hợp linh kiện ReRAM: Bốc bay/phún xạ các hệ điện cực đỉnh (TE: Ag, Ti) và điện cực đáy (BE: Pt, FTO) để tạo cấu trúc dị thể TE/Dielectric/BE.
- Tầng 4 - Kỹ thuật biến tính và gắn mẫu dò: Hoạt hóa bề mặt, gắn các tác nhân hóa học APTES/SA và cố định chất thử sinh học.
Quy trình nghiên cứu rigorous
Quy trình thực nghiệm được chuẩn hóa với độ lặp lại và độ tinh khiết cao:
- Lắng đọng màng $WO_3$ và điện cực: Phún xạ từ bia vonfram kim loại trong buồng chân không cao với tỷ lệ khí $Ar:O_2$ được kiểm soát nghiêm ngặt; chế tạo điện cực đỉnh Ag và Ti qua mặt nạ kim loại (shadow mask).
- Tổng hợp màng CS:GO: Hòa tan bột Chitosan (độ deacetyl hóa cao) trong dung dịch acid acetic loãng, phối trộn với huyền phù Graphene Oxide (GO) theo tỷ lệ tối ưu, lọc siêu âm khử bọt khí và phủ quay lên đế FTO, sau đó sấy chân không.
- Giao thức biến tính bề mặt:
- Quy trình biến tính $WO_3$: Mẫu $WO_3$ được xử lý dung môi hoặc xử lý bằng plasma oxy ($O_2$ plasma) để tối đa hóa mật độ nhóm $-OH$ tự do, tiếp tục ngâm trong dung dịch (3-Aminopropyl)triethoxysilane (APTES) để tạo màng tự lắp ghép chứa nhóm $-NH_2$ ($WO_3@APTES$), sau đó phản ứng với succinic anhydride (SA) để chuyển đổi thành nhóm chức carboxyl tận cùng ($WO_3@APTES-SA$).
- Quy trình biến tính CS:GO: Tận dụng các nhóm $-OH$ và $-NH_2$ nội tại của chitosan và mép tấm GO, tiến hành silan hóa với APTES và carboxyl hóa với SA.
- Quy trình cố định chất thử sinh học:
- Cố định đoạn mồi oligonucleotide cải biến amin ($NH_2$-Oligo C6-sybr green I) lên bề mặt $WO_3$ đã biến tính thông qua liên kết cộng hóa trị giữa $-NH_2$ và $-COOH$.
- Gắn kết phân tử huỳnh quang fluorescein isothiocyanate (FITC) lên bề mặt màng CS:GO biến tính thông qua phản ứng tạo liên kết thiourea bền vững.
SƠ ĐỒ QUY TRÌNH THỰC NGHIỆM TỔNG THỂ:
┌───────────────────────────┐ ┌───────────────────────────┐
│ Phún xạ RF tạo màng WO3 │ │ Phủ quay tạo màng CS:GO │
└─────────────┬─────────────┘ └─────────────┬─────────────┘
│ │
▼ ▼
┌───────────────────────────┐ ┌───────────────────────────┐
│ Xử lý Plasma O2 / Dung môi│ │ Hoạt hóa nhóm chức bề mặt │
└─────────────┬─────────────┘ └─────────────┬─────────────┘
│ │
▼ ▼
┌───────────────────────────┐ ┌───────────────────────────┐
│ Biến tính: APTES (-NH2) │ │ Biến tính: APTES (-NH2) │
│ Biến tính tiếp: SA (-COOH)│ │ Biến tính tiếp: SA (-COOH)│
└─────────────┬─────────────┘ └─────────────┬─────────────┘
│ │
▼ ▼
┌───────────────────────────┐ ┌───────────────────────────┐
│ Gắn NH2-Oligo C6-Sybr Gr.I│ │ Gắn Fluorescent Probe FITC│
└─────────────┬─────────────┘ └─────────────┬─────────────┘
│ │
▼ ▼
┌──────────────────────────────────────────────────────────────┐
│ Đặc trưng Cấu trúc, Điện học I-V (ReRAM) & Huỳnh quang │
└──────────────────────────────────────────────────────────────┘
Data và phân tích
Nghiên cứu sử dụng phức hợp các phương pháp phân tích thực nghiệm hiện đại:
- Nhiễu xạ tia X (XRD): Xác định cấu trúc đa pha tinh thể monoclinic/triclinic của $WO_3$ và khoảng cách giữa các lớp tinh thể ($d$-spacing) của bột CS, màng CS, GO và nanocomposite CS:GO.
- Quang phổ quang điện tử tia X (XPS): Phân tích trạng thái hóa trị $W4f$ ($W^{6+}, W^{5+}$) và mức năng lượng liên kết $O1s$ để định lượng nồng độ nút khuyết oxy.
- Quang phổ hồng ngoại biến đổi Fourier (FTIR) & Tán xạ Raman: Giám sát sự xuất hiện của các dao động liên kết đặc trưng $Si-O-Si$ ($1020\text{ cm}^{-1}$), $W-O-W$, $-CONH-$, $-COOH$ ($1710\text{ cm}^{-1}$), dải $D$ ($~1350\text{ cm}^{-1}$) và dải $G$ ($~1590\text{ cm}^{-1}$).
- Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FE-SEM) & Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM): Quan sát hình thái bề mặt, độ nhám và sự phân tán của các phiến GO ở độ phóng đại cao (thang đo 50 nm - 10 $\mu$m).
- Phép đo đường đặc trưng Dòng - Thế (I-V): Khảo sát chuyển mạch điện trở trên thiết bị bán dẫn chuyên dụng, trích xuất dữ liệu bán logarit ($\ln I - \ln V$, $I - V^{1/2}$, $\ln(I/V^2) - 1/V$) để khớp các mô hình lý thuyết SCLC, Fowler-Nordheim, Schottky và Poole-Frenkel.
Phát hiện đột phá và implications
Những phát hiện then chốt
Luận án mang lại 5 phát hiện khoa học mang tính đột phá với minh chứng thực nghiệm xác thực:
- Xác lập cơ chế chuyển đổi điện trở lưỡng cực đa cơ chế trong cấu trúc $Ag/WO_3/Pt$ và $Ag/WO_3/FTO$: Dưới quá trình quét thế âm ($0 \to -1,5\text{ V}$), cơ chế dẫn điện chuyển tiếp liên tục qua ba trạng thái: Dẫn giới hạn điện tích không gian $\to$ Dẫn đạn đạo $\to$ Dẫn Ohmic ($\text{SCLC} \to \text{BC} \to \text{OC}$). Dưới điện thế quét dương ($0 \to +2\text{ V}$), hệ thống tuân theo cơ chế Dẫn Ohmic chuyển sang Xuyên ngầm Fowler-Nordheim ($\text{OC} \to \text{FN}$).
- Phát hiện sự đảo chiều chuyển mạch phụ thuộc điện cực trong $Ti/WO_3/FTO$: Khác với cấu trúc chứa điện cực Ag (đảo điện trở theo chiều kim đồng hồ do sợi dẫn $Ag$), cấu trúc $Ti/WO_3/FTO$ thể hiện đặc trưng I-V ngược chiều kim đồng hồ. Cơ chế được xác định do sự di chuyển thuận nghịch của các ion âm $O^{2-}$ qua lại mặt phân giới đáy $WO_3/FTO$, làm thay đổi độ dày rào cản thế năng.
- Hiệu năng chuyển mạch ReRAM vượt trội của màng lai hữu cơ Ag/CS:GO/FTO: Cấu trúc màng lai thể hiện độ ổn định điện học tuyệt vời với khả năng duy trì hai trạng thái HRS và LRS phân tách rõ rệt tại điện áp đọc $V_{read} = -2\text{ V}$ qua 100 chu kỳ quét liên tục với phân bố xác suất tích lũy đồng đều.
- Hiệu ứng kích hoạt vượt bậc của Plasma oxy trong chức năng hóa bề mặt: Kết quả ảnh FE-SEM và phổ huỳnh quang chứng minh màng $WO_3$ xử lý bằng plasma oxy ($WO_3@\text{Plasma } O_2\text{-APTES-SA}$) cho mật độ gắn kết chất thử sinh học $NH_2$-Oligo C6-sybr green I vượt trội rõ rệt so với mẫu chỉ xử lý dung môi thông thường ($WO_3@\text{DM-APTES-SA}$).
- Cố định thành công chất thử huỳnh quang FITC trên màng biến tính CS:GO: Hình ảnh kính hiển vi huỳnh quang xác nhận sự gia tăng mạnh mẽ cường độ phát xạ xanh lục của mẫu CS:GO biến tính với APTES và SA khi phản ứng với FITC, chứng minh các nhóm chức amin và carboxylate đã được định vị dày đặc trên bề mặt màng.
BẢN ĐỒ CƠ CHẾ DẪN ĐIỆN THEO PHÂN CỰC ĐIỆN THẾ TRÊN MÀNG WO3:
Quét thế Âm (0V ──► -1.5V) Quét thế Dương (0V ──► +2.0V)
┌───────────────────────┐ ┌──────────────────────────┐
Trạng thái: │ HRS (Điện trở cao) │ │ LRS (Điện trở thấp) │
└──────────┬────────────┘ └────────────┬─────────────┘
│ │
Cơ chế dẫn: ▼ ▼
┌───────────────────────┐ ┌──────────────────────────┐
│ SCLC (Điện tích K.Gian)│ │ OC (Dẫn Ohmic) │
└──────────┬────────────┘ └────────────┬─────────────┘
│ │
▼ ▼
┌───────────────────────┐ ┌──────────────────────────┐
│ BC (Dẫn đạn đạo) │ │ FN (Xuyên ngầm Fowler- │
│ ──► OC (Dẫn Ohmic) │ │ Nordheim) │
└───────────────────────┘ └──────────────────────────┘
Implications đa chiều
- Về mặt lý thuyết: Cung cấp mô hình định lượng đầy đủ về sự cạnh tranh giữa cơ chế dẫn điện hóa kim loại (formation of Ag conductive filaments) và cơ chế dẫn khuyết tật mạng ion ($O^{2-}$ migration) trong màng oxit kim loại chuyển tiếp.
- Về mặt phương pháp luận: Chuẩn hóa quy trình hai bước (Plasma hoạt hóa $\to$ Silan hóa / Mở vòng Anhydride) cho phép biến tính bề mặt các màng mỏng vô cơ và polymer sinh học mà không làm suy thoái tính chất dẫn điện của lớp điện môi bên dưới.
- Về mặt ứng dụng thực tiễn: Tạo tiền đề chế tạo các chip cảm biến sinh học trở nhớ nhỏ gọn, tích hợp trực tiếp trên mạch CMOS, cho phép phát hiện sớm các bệnh nan y (ung thư, sốt xuất huyết qua protein NS1, đoạn gen đột biến) với quy trình phân tích khô, loại bỏ hoàn toàn hệ thống buồng đo điện hóa cồng kềnh.
Limitations và Future Research
Nhằm đảm bảo tính khách quan khoa học, luận án thẳng thắn chỉ ra các giới hạn nghiên cứu:
- Giới hạn về nồng độ phân tích sinh học: Các thử nghiệm cố định chất thử ($NH_2$-Oligo C6 và FITC) mới dừng lại ở việc chứng minh khả năng gắn kết cộng hóa trị định tính qua phổ huỳnh quang và FTIR, chưa khảo sát đường chuẩn định lượng nồng độ đối tượng sinh học ở các thang siêu vi (pM đến fM) trực tiếp trên đường đặc trưng dịch chuyển thế $\Delta V$.
- Giới hạn về độ ổn định môi trường: Khả năng tương thích sinh học và độ bền cơ học của màng CS:GO chưa được thử nghiệm dài hạn trong điều kiện độ ẩm biến thiên và nhiệt độ sinh lý ($37^\circ\text{C}$).
- Giới hạn tích hợp linh kiện: Kích thước điện cực chế tạo qua mặt nạ kim loại còn ở quy mô micro, chưa tích hợp sâu vào quy trình quang khắc nano (e-beam lithography) để đạt kích thước sub-100 nm.
Định hướng nghiên cứu tương lai:
- Chế tạo hoàn chỉnh linh kiện cảm biến sinh học trở nhớ tích hợp hệ kênh dẫn vi lưu (microfluidics) để thử nghiệm bắt cặp DNA lai hóa và kháng thể - kháng nguyên theo thời gian thực.
- Tối ưu hóa tỷ lệ pha tạp của phiến Graphene Oxide đã khử (rGO) trong nền Chitosan nhằm nâng cao độ bền cơ học và tối ưu hóa cửa sổ điện trở chuyển mạch ($HRS/LRS$ ratio).
- Đánh giá tính tương thích tế bào in vitro của màng mỏng biến tính trên các dòng tế bào người nhằm ứng dụng trong màng cấy ghép y sinh thông minh.
- Mở rộng nghiên cứu sang các hệ điện cực sinh học nano khác (như Au NPs, Carbon Quantum Dots) nhằm hạ thấp điện áp vận hành xuống mức điện thế sinh học ($<100\text{ mV}$).
Tác động và ảnh hưởng
Công trình nghiên cứu của NCS. Tạ Thị Kiều Hạnh tạo ra những tác động khoa học và công nghệ rõ nét:
- Tác động học thuật: Đã công bố thành công 03 công trình trên các tạp chí khoa học quốc tế uy tín thuộc danh mục SCIE (trong đó có 01 bài báo xếp hạng Q1 và 02 bài báo xếp hạng Q2) cùng 01 chương sách tham khảo chuyên khảo trong nước. Kết quả nghiên cứu đóng vai trò là tài liệu tham chiếu tin cậy cho cộng đồng nghiên cứu linh kiện bán dẫn và cảm biến nano tại Việt Nam và quốc tế.
- Tác động công nghệ & Công nghiệp: Cung cấp quy trình công nghệ chế tạo màng ReRAM $WO_3$ và CS:GO tương thích hoàn toàn với nền tảng công nghệ CMOS bán dẫn hiện hành, mở ra cơ hội thương mại hóa các thẻ thử chẩn đoán y tế tại điểm chăm sóc (Point-of-Care Testing - POCT).
- Lợi ích kinh tế - xã hội: Góp phần tự chủ công nghệ chế tạo cảm biến sinh học có độ nhạy cao trong nước, giảm sự phụ thuộc vào các bộ kit xét nghiệm nhập ngoại đắt đỏ, hỗ trợ đắc lực cho công tác tầm soát và phát hiện sớm các dịch bệnh truyền nhiễm và ung thư hiểm nghèo.
Đối tượng hưởng lợi
- Nghiên cứu sinh và Giới nghiên cứu trẻ: Nắm bắt được khung phương pháp luận chuẩn mực trong việc khảo sát cơ chế truyền dẫn phi tuyến (SCLC, Poole-Frenkel, Schottky, Fowler-Nordheim) và các bước xử lý hóa học bề mặt nano.
- Các nhà khoa học vật liệu và chuyên gia bán dẫn: Tiếp cận dữ liệu thực nghiệm toàn diện về sự tương tác giữa vật liệu điện môi $WO_3$/CS:GO với các hệ điện cực kim loại khác nhau (Ag, Ti, Pt, FTO).
- Kỹ sư R&D trong ngành Y sinh & Cảm biến: Ứng dụng quy trình hoạt hóa plasma và gắn đầu dò oligonucleotide để phát triển các thế hệ chip bio-sensor thế hệ mới.
- Các nhà hoạch định chính sách công nghệ: Có thêm căn cứ thực tiễn để định hướng đầu tư phát triển ngành công nghiệp vi mạch bán dẫn và công nghệ nano y sinh tại Việt Nam.
Câu hỏi chuyên sâu
1. Đóng góp lý thuyết độc đáo nhất của luận án là gì và đã mở rộng lý thuyết nào?
Đóng góp độc đáo nhất là việc xây dựng và chứng minh thực nghiệm mô hình chuyển mạch điện trở lưỡng cực đa cơ chế trên màng mỏng $WO_3$. Nghiên cứu đã mở rộng lý thuyết dòng dẫn giới hạn bởi điện tích không gian có bẫy (Trap-Controlled Space-Charge-Limited Conduction) và lý thuyết tiếp xúc dị thể kim loại - điện môi, làm sáng tỏ sự chuyển đổi liên tục giữa các trạng thái dẫn đạn đạo (Ballistic Conduction) và dẫn Ohmic qua sợi dẫn kim loại Ag trong quá trình phân cực thế.
2. Điểm đổi mới phương pháp luận khi so sánh với các công trình quốc tế tiền nhiệm?
So với nghiên cứu của Carrara et al. (2012) [14] (sử dụng dây nano Si chế tạo bằng quang khắc chùm điện tử đắt tiền) và Raeis-Hosseini et al. (2021) [37] (chỉ tập trung vào bioReRAM Ag/Au-CS/Au thuần túy), luận án đã đổi mới bằng cách phát triển quy trình chức năng hóa bề mặt kép thông qua xử lý tiền hoạt hóa Plasma oxy kết hợp silan hóa APTES và mở vòng Anhydride Succinic. Phương pháp này bảo toàn nguyên vẹn cấu trúc điện môi của màng $WO_3$ và CS:GO, đồng thời nâng cao vượt bậc mật độ gắn kết chất thử sinh học.
3. Phát hiện bất ngờ nhất trong dữ liệu thực nghiệm là gì?
Phát hiện bất ngờ nhất nằm ở sự đảo ngược hoàn toàn chiều của chu trình trễ I-V khi thay thế điện cực hoạt tính Ag bằng điện cực Ti trên màng $WO_3$ (từ chiều kim đồng hồ chuyển sang ngược chiều kim đồng hồ). Dữ liệu phân tích chứng minh sự thay đổi vật liệu điện cực đã làm thay đổi hoàn toàn bản chất vật lý: từ cơ chế hình thành sợi dẫn kim loại oxy hóa khử $Ag \leftrightarrow Ag^+$ sang cơ chế di chuyển của các ion âm khuyết oxy $O^{2-}$ tích tụ tại mặt phân giới $WO_3/FTO$.
4. Luận án có cung cấp quy trình tái lập (Replication Protocol) hoàn chỉnh không?
Hoàn toàn có. Luận án mô tả chi tiết, minh bạch từng thông số thực nghiệm: tỷ lệ phối trộn nồng độ màng keo CS:GO, tốc độ phủ quay (rpm), công suất phún xạ RF cho màng $WO_3$, lưu lượng khí argon/oxy, thời gian và công suất xử lý plasma $O_2$, nhiệt độ và thời gian phản ứng ủ với APTES, SA, FITC và $NH_2$-Oligo C6.
5. Chương trình nghiên cứu 10 năm tới được phác thảo như thế nào?
Lộ trình nghiên cứu dài hạn bao gồm: (1) Thu nhỏ kích thước linh kiện memristor xuống quy mô dưới 50 nm; (2) Tích hợp màng mỏng biến tính vào cấu trúc transistor trở nhớ (1T1R) và chip vi lưu lab-on-a-chip; (3) Thử nghiệm lâm sàng chẩn đoán đa chỉ dấu ung thư (multi-cancer biomarker detection) ở thang nồng độ femtomolar trong môi trường dịch sinh học phức tạp.
Kết luận
- Chế tạo thành công màng mỏng vô cơ $WO_3$ bằng phương pháp phún xạ RF magnetron và màng mỏng hữu cơ lai hóa CS:GO bằng phương pháp phủ quay đạt độ đồng nhất cao và cấu trúc pha ổn định.
- Thiết lập thành công linh kiện trở nhớ ReRAM trên các hệ cấu trúc $Ag/WO_3/Pt$, $Ag/WO_3/FTO$, $Ti/WO_3/FTO$ và $Ag/CS:GO/FTO$, thể hiện đặc tính đảo điện trở lưỡng cực thuận nghịch với độ bền chuyển mạch cao qua 100 chu kỳ quét liên tục.
- Luận giải sâu sắc bản chất vi cơ chế truyền dẫn điện tích phi tuyến trong màng, phân biệt rành mạch giữa cơ chế sợi dẫn kim loại Ag (tuân theo các mô hình SCLC, BC, OC, FN) và cơ chế dịch chuyển ion khuyết oxy $O^{2-}$ tại mặt phân giới.
- Làm chủ công nghệ biến tính bề mặt màng mỏng bằng kỹ thuật xử lý plasma oxy kết hợp silan hóa APTES (nhóm $-NH_2$) và carboxyl hóa bằng succinic anhydride (nhóm $-COOH$).
- Cố định thành công và chọn lọc các chất thử sinh học ($NH_2$-Oligo C6-sybr green I và FITC) lên bề mặt màng mỏng thông qua liên kết cộng hóa trị bền vững, được kiểm chứng bằng phân tích FE-SEM, FTIR và kính hiển vi huỳnh quang.
- Mở ra ba hướng nghiên cứu liên ngành đột phá: Chip cảm biến sinh học trở nhớ vận hành ở môi trường khô, màng nanocomposite polymer sinh học thông minh tự điều biến điện trở, và nền tảng chẩn đoán y tế sớm tại điểm chăm sóc POCT đạt độ nhạy femtomolar tương thích công nghệ bán dẫn CMOS.
Trích đoạn nội dung luận án
Tải xuống để đọc toàn bộĐẠI HỌC QUỐC GIA TP. HCM TRƯỜNG ĐH KHOA HỌC TU NHIEN VIỆN CÔNG NGHỆ NANO TA THỊ KIỂU HANH CHE TẠO VA BIEN TINH BE MAT MANG MONG WO; VA CHITOSAN:OXIT GRAPHEN LUẬN AN TIEN SĨ KHOA HOC VAT LIEU TP. Hồ Chí Minh — Năm 2023 ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP. HCM TRƯỜNG ĐH KHOA HỌC TỰ NHIÊN VIỆN CÔNG NGHỆ NANO TA THỊ KIEU HẠNH Nganh: Khoa hoc Vat liéu Mã sô ngành: 62 44 01 22 Phản biện 1: PGS.
Nguyễn Mạnh Tuan Phản biện 2: PGS. Trần Việt Cường Phản biện 3: TS. Nguyễn Thụy Ngọc Thủy Phản biện độc lập 1: PGS. Nguyễn Mạnh Tuan Phản biện độc lập 2: TS.
Nguyễn Tan Tài NGƯỜI HƯỚNG DAN KHOA HOC 1. Phan Bach Thang 2. Nguyén Thi Lién Thuong TP. Hồ Chi Minh — Năm 2023 LỜI CAM ĐOAN Tôi cam đoan luận án tiến sĩ ngành Khoa học Vật liệu, với đề tài chế tạo và biến tính bề mặt màng mỏng WO; và chitosan:oxit graphen định hướng ứng dụng trong cảm biến là công trình khoa học do Tôi thực hiện dưới sự hướng dẫn của GS.
Phan Bách Thắng và TS. Nguyễn Thị Liên Thương. Những kết quả nghiên cứu của luận án hoàn toàn trung thực, chính xác và không trùng lap với các công trình đã công bô trong và ngoai nước. Nghiên cứu sinh Tạ Thị Kiều Hạnh LỜI CẢM ƠN Lời cảm ơn đầu tiên và trân trọng nhất xin được gởi đến Thầy hướng dẫn chính là GS.
Phan Bách Thắng. Cảm ơn Thay đã định hướng và đồng hành cùng em trong suốt thời gian thực hiện luận án. Thầy không chỉ truyền đạt kiến thức và kinh nghiệm trong nghiên cứu mà Thầy còn hướng dẫn và hỗ trợ em rất nhiều trong công việc và ngoài xã hội. Cảm ơn Cô, TS.
Nguyễn Thị Liên Thương, Cô luôn động viên và hỗ trợ em trong mọi mặt từ nghiên cứu đến cuộc sống. Cảm ơn Em Phạm Kim Ngọc và Em Trần Thị Như Hoa, cảm ơn hai em đã đồng hành và san sẻ với chị tất cả thuận lợi và khó khăn trong nghiên cứu, công tác và cuộc sống trong suốt thời gian qua. Cảm ơn các Bạn Trần Quang Minh Nhật, Đào Thị Băng Tâm, Trần Kim Mỹ, Đỗ Đình Phúc và các Bạn Sinh viên đã luôn hỗ trợ Cô/Chị trong lúc thực hiện luận án. Cảm ơn Em Phạm Duy Phong đã hỗ trợ chị đo mẫu lúc công tác bên Hàn và luôn dõi theo để động viên chị.
Trần Đại Lâm, TS. Cao Thị Thanh, PGS. Nguyễn Thế Toàn, ThS. Vũ Hoàng Nam đã đóng góp cho Luận án của tac gia.Hyongky Ju, Đại học Gachon, Hàn Quốc đã tạo điều kiện để Tác giả nghiên cứu ngắn hạn tại Trường Gachon.
Lê Văn Hiếu, PGS. Trần Cao Vinh và PGS. Trần Thị Thanh Vân đã tạo điều kiện tối đa và luôn động viên em trong suốt thời gian thực hiện luận án. Cảm ơn Khoa Khoa học và Công nghệ Vật liệu, Trung tâm Nghiên cứu Vật liệu Cấu trúc Nano và Phân tử, Phòng thí nghiệm Vật liệu Kỹ thuật cao, Viện Công nghệ Nano và Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM đã hỗ trợ cơ sở vật chất và tạo mọi điều kiện cho Tác giả thực hiện luận án này.
Cuối cùng xin được chân thành cảm ơn Ba Mẹ và Gia đình đã luôn bên cạnh, hỗ trợ về vật chất và tinh thần dé con/em có động lực học tập và hoàn thành luận án. LỜI CẢM ƠN Lời cảm ơn đầu tiên và trân trọng nhất xin được gởi đến Thầy hướng dẫn chính là GS. Phan Bách Thắng. Cảm ơn Thay đã định hướng và đồng hành cùng em trong suốt thời gian thực hiện luận án.
Thầy không chỉ truyền đạt kiến thức và kinh nghiệm trong nghiên cứu mà Thầy còn hướng dẫn và hỗ trợ em rất nhiều trong công việc và ngoài xã hội. Cảm ơn Cô, TS. Nguyễn Thị Liên Thương, Cô luôn động viên và hỗ trợ em trong mọi mặt từ nghiên cứu đến cuộc sống. Cảm ơn Em Phạm Kim Ngọc và Em Trần Thị Như Hoa, cảm ơn hai em đã đồng hành và san sẻ với chị tất cả thuận lợi và khó khăn trong nghiên cứu, công tác và cuộc sống trong suốt thời gian qua.
Cảm ơn các Bạn Trần Quang Minh Nhật, Đào Thị Băng Tâm, Trần Kim Mỹ, Đỗ Đình Phúc và các Bạn Sinh viên đã luôn hỗ trợ Cô/Chị trong lúc thực hiện luận án. Cảm ơn Em Phạm Duy Phong đã hỗ trợ chị đo mẫu lúc công tác bên Hàn và luôn dõi theo để động viên chị. Trần Đại Lâm, TS. Cao Thị Thanh, PGS.
Nguyễn Thế Toàn, ThS. Vũ Hoang Nam đã đóng góp cho Luận án của tác gia.Hyongky Ju, Đại học Gachon, Hàn Quốc đã tạo điều kiện để Tác giả nghiên cứu ngắn hạn tại Trường Gachon. Lê Văn Hiếu, PGS. Trần Cao Vinh và PGS.
Trần Thị Thanh Vân đã tạo điều kiện tối đa và luôn động viên em trong suốt thời gian thực hiện luận án. Cảm ơn Khoa Khoa học và Công nghệ Vật liệu, Trung tâm Nghiên cứu Vật liệu Cấu trúc Nano và Phân tử, Phòng thí nghiệm Vật liệu Kỹ thuật cao, Viện Công nghệ Nano và Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM đã hỗ trợ cơ sở vật chất và tạo mọi điều kiện cho Tác giả thực hiện luận án này. Cuối cùng xin được chân thành cảm ơn Ba Me và Gia đình đã luôn bên cạnh, hỗ trợ về vật chất và tinh thần để con/em có động lực học tập và hoàn thành luận án. MỤC LỤC MỤC LUỤC.06 i DANH MỤC TU VIET TAT.
vii DANH MỤC HÌNH ANH.cccsssssssssssssssssssessscssscsssesosscsnecanecssscssscssscsascsasesaneeaseenseesss viii MỞ DAU wisssssssssssssessssssscsssssssssssssscssssssscsesssnsssssssssssssssssssssnsseessssesssssssessssssesssssnesssssssesessese 1 Chương 1. TONG QUAN oessssssssssssssssssssssssssssssssssssssssesssssssssssssssssssssssssssesssssssssessssesssee 7 1. Tổng quan về cảm biến sinh học. Cảm biến sinh học cộng hưởng trên cơ sở thanh nano dao động.
Cảm biến sinh học điện hoá.¿- 2 + Sk£SkEEEEEEEEEE+EEEEEEEEEEEEEEkeErkrrkerkerrrei 8 1. Cảm biến nano sinh học trên cơ sở hiệu ứng trường. Cảm biến sinh học trở nhớ.----¿- ¿2+ +++Ex+EE++EE+EE+£EEtzE+erxzreerxerrxerxee 10 1. Vat LSU tO MG.
Vật liệu oxit kim loại chuyền tiếp "TỪ. Vật liệu dựa trên nền hữu CƠ. Các phương pháp biến tính bề mặtt. Cac phurong phap hoa hoc nn.
Hap phu ha 1n. Gv HH SH HH HH HH rưy 24 In mi. Cac phurong phap Vat LY. Hấp phụ vat lý.
Lắp ráp từng lỚp. Đối tượng nghiên cứu của luận án.----¿- + ©2+x+2+++Ex+Ex£+zxtzxeerxezrerrxee 28 I 0/6 ion. Chitosan lai hóa với oxit øraphenn.- --- «cv ng ng sư, 30 1. Hợp chất dùng dé biến tính bề mặt vật liệu.-- << S11 HH HH kg 35 1.
Chat thử sinh học gắn lên bề mặt vật liệu sau khi biến tính. NH2-Oligo C6-sybr green Ì.---- + Sc + + +EEsekesersrserrsereree 36 Chương 2. PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU VÀ QUY TRÌNH THỰC NGHIỆM. Phương pháp chế tao màng mỏng WOs, Ag, Ti và CS:GO.
Cac phurong phap phan tich 0n. Quy trình thực nghiỆm. Quy trình chế tạo màng mỏng WOs và điện cực Ag, Tì. Quy trình chế tạo màng mỏng CS:GO.
Quy trình biến tính bề mặt mang mỏng WO2 với APTES và SA. Quy trình biến tính bề mặt mang mỏng CS:GO với APTES và SA. Quy trình gan chất thử sinh học lên bề mặt màng mỏng trước và sau biến tinh. Quy trình gắn NHa-Oligo C6-sybr green I lên bề mặt màng mỏng WO: trước VA Saul iGn tinh 0.
Quy trình gắn FITC lên bề mặt màng mỏng CS:GO trước và sau biến tinh. KET QUA CHE TẠO VÀ BIEN TINH BE MAT MÀNG MONG WO; 51 3. __ Kết quả chế tạo mang mỏng WOS. Giãn đồ nhiễu xạ tia X của màng mỏng WOS u.
Phố XPS của màng mỏng WO3. Phổ FTIR của màng mỏng WO3. Đặc trưng I-V của cấu trúc TE/WOz/BE. Đặc trưng đảo điện trở của cau trúc TE/WOz/BE.
Co chế truyền dẫn điện tích của cau trúc TE/WOz/BE. Cơ chế đảo điện trở của cau trúc Ag/WOz/Pt và Ag/WOz/FTO. Cơ chế đảo điện trở của cau trúc Ti/WO2/FTO. Kết quả biến tính bề mặt màng mỏng WOa.
Kết quả phân tích phô FTIR.- 2-2 +2+2E++EE++2E++2EE++Ex++rxezrxrersrees 66 3. Ảnh chụp bề mặt FE-SEM. Kết quả gắn chat thử sinh học NH2-C6 Oligo-sybr green I. KET QUA CHE TẠO VÀ BIEN TÍNH BE MAT MÀNG MONG CS:GO.
Kết quả chế tạo mang mỏng CS và CS:GO. Giãn đồ nhiễu xạ tỉa X. Phổ tán xạ Raman.-----2- 2: ©2++©++2EE+EE+SEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEEErkrrrrervee 76 4. Kết quả chụp ảnh TEEM.--- 2-2 SE SE+EE£EE2EE2EE2E12E122127171 71212121.
Kết quả chụp ảnh FE-SIEM.- 5 ST TH HH tr 79 4. Đặc trưng I-V của cau trúc Ag/CS:GO/FTO. Đặc trưng đảo điện trở của cau trúc Ag/CS:GO/FTO. Cơ chế đảo điện trở của cấu trúc Ag/CS:GO/FTO.
Kết quả biến tính bề mặt màng mỏng CS, CS:GO. Kết quả gan chất thử sinh hoc EITC.-L 22c 2t 2 T222 2121112111 re 94 Chương 5. KET LUẬN VÀ KIEN NGHỊ,. 2S 2H TH E22 1101 11 cere 97 DANH MỤC CONG TRINH KHOA HỌC.----- s2 s2 ssssecssezssers 98 TÀI LIEU THAM KHẢO .- 2-2 s£©s£s£seEssEEsseEsserssersserssersssorse 101 iv DANH MỤC TỪ VIẾT TÁT Từ viết tắt _ Thuật ngữ tiếng anh Tiêng việt (3-Aminopropyl)triethoxy APTES silane BC Ballistic conduction Dan dan dao BE Bottom electrode Dién cuc day CS Chitosan Chitosan DI Deionized Khử ion FITC Fluorescein isothiocyante FRAM Ferroelectric random access Bộ nhớ truy cập ngẫu nhiên sắc điện memory FN Fowler-Nordheim Xuyén ngam Fowler-Nordheim FTIR Fourier-transform infrared Quang phổ hồng ngoại biến đổi spectroscopy Fourier FTO Fluorine doped tin oxide Oxit thiếc pha tap flo GO Graphen oxide Oxit graphen HRS High resistance state Trang thai dién tro cao LBL Layer-by-layer Từng lớp LRS Low resistance state Trang thai dién tro thap MRAM Magnetoresistive access memory random Bộ nhớ truy cập ngẫu nhiên từ tinh OC Ohmic conduction Dan ohmic PF Poole-Frenkel Phat xa Poole-Frenkel PRAM Phase-change random access Bộ nhớ truy cập ngẫu nhiên thay đổi memory pha RRAM/ Resistive random access Bộ nhớ truy cập ngẫu nhiên dao điện ReRAM memory trở SA Succinic anhydride SC Schottky emission conduction Dan phát xa Schottky SCLC Space-charge-limited conduction Dẫn giới hạn điện tích không gian SEM Scanning Electron Microscope Kính hiển vi điện tự quét TE Top electrode Điện cực đỉnh TEM Tra HSMISSION Microscope Electron Kính hién vi điện tử truyền qua VRH Variable-range hopping Nhảy lò cò đa khoảng cách X- hotoelect , XPS nay eae” Quang phổ điện tử tia X Spectroscopy XRD X-ray Diffraction Nhiéu xa tia X vi DANH MỤC BANG Bang 2.
Hóa chất, vật tư và dung môii.---2- 2+ 5£ +E+E£+E£+E£EE£EEEEEEEEerkerkerkerreee 40 Bảng 2. Thông số chế tạo màng mỏng WO; và điện cực Ag, Ti trong cấu trúc 07/9. Cơ chế dẫn điện chính trong các cấu trúc Ag/WOz/Pt, Ag/WOz/FTO và I0 )/9. Các dao động đặc trưng của mang GO, CS và CS:GO.c- 75 vii DANH MỤC HÌNH ẢNH Hình 1.
Mô hình cảm biến sinh học thanh nano dao động. Mô hình đo của cảm biến sinh học điện hoá .---- 2-5 2 cs+z+£zE+zzxszez 8 Hình 1. Nguyên lý hoạt động của cảm biến sinh học hiệu ứng trường. Cấu tạo của bộ nhớ dang trở nhớ ReRAM.---cS-ccsssesereeersres 11 Hình 1.
Đặc trưng dòng - thé (I-V) của bộ nhớ dang trở nhớ ReRAM. Đặc trưng dong thé của cau trúc trở nhớ: a) trước và b)sau khi gắn đối tượng Hình 1.
Nội dung được bảo vệ bản quyền — Tải xuống đầy đủ
Trích dẫn luận án này
Tạ Thị Kiều Hạnh (2023). Chế tạo vật liệu cảm biến: Màng mỏng WO3 & Chitosan-Graphen [Luận án tiến sĩ, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, Đại học Quốc gia TP. Hồ Chí Minh]. LuanAn.net. https://luanan.net/ky-thuat-co-khi/cong-nghe-vat-lieu/che-tao-bien-tinh-vat-lieu-mang-mong-wo3-chitosan-graphen-cam-bien
Câu hỏi thường gặp
Luận án "Chế tạo vật liệu cảm biến: Màng mỏng WO3 & Chitosan-Graphen" nghiên cứu về vấn đề gì?
Luận án chế tạo, biến tính màng WO3 và chitosan oxit graphen. Hướng ứng dụng vật liệu này phát triển cảm biến hiệu quả.
Luận án "Chế tạo vật liệu cảm biến: Màng mỏng WO3 & Chitosan-Graphen" được bảo vệ tại trường nào?
Luận án này được bảo vệ tại Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, Đại học Quốc gia TP. Hồ Chí Minh. Năm bảo vệ: 2023.
Luận án "Chế tạo vật liệu cảm biến: Màng mỏng WO3 & Chitosan-Graphen" thuộc chuyên ngành gì?
Luận án "Chế tạo vật liệu cảm biến: Màng mỏng WO3 & Chitosan-Graphen" thuộc chuyên ngành Khoa học Vật liệu. Danh mục: Công Nghệ Vật Liệu.
Luận án "Chế tạo vật liệu cảm biến: Màng mỏng WO3 & Chitosan-Graphen" có bao nhiêu trang?
Luận án "Chế tạo vật liệu cảm biến: Màng mỏng WO3 & Chitosan-Graphen" có 130 trang. Bạn có thể xem trước một phần tài liệu ngay trên trang web trước khi tải về.
Cách tải luận án "Chế tạo vật liệu cảm biến: Màng mỏng WO3 & Chitosan-Graphen" về máy như thế nào?
Để tải luận án về máy, bạn nhấn nút "Tải xuống ngay" trên trang này, sau đó hoàn tất thanh toán phí lưu trữ. File sẽ được tải xuống ngay sau khi thanh toán thành công. Hỗ trợ qua Zalo: 0559 297 239.