Cảm biến gia tốc cấy ghép

Luận án tiến sĩ về cảm biến gia tốc piezoresistive siêu nhỏ cho ứng dụng y sinh. Miniaturize cảm biến hai bậc độ lớn, áp dụng trong ghép sốc và đo tín hiệu sinh học.